半導體器件分析儀是一款具有 10 插槽配置的模塊化儀器，可支持 IV 和 CV 測量及快速高電壓脈

沖測量。它采用常見的 Microsoft ® Windows ® 用戶界面，可支持 Agilent EasyEXPERT 軟

件。該軟件為器件表征提供更直觀的、面向任務的新方法。Agilent B1500A 具有極佳的低電流、

低電壓和集成電容測量能力，因此可滿足廣泛的半導體器件表征需求（IC-CAP 支持）。它還是一

款用于非易失存儲單元表征和高速器件表征（包括先進 NBTI 和 RTS 噪聲（RTN）測量）的出色

解決方案。  

應用主題  

現已提供有關太陽能電池表征的新應用指南和示例程序。 

模塊信息  

它支持 3 類 SMU 和 ASU，以執行超精密測量。有關 SMU 的更多信息，請參見本頁的模塊選型

指南。  

它（HV-SPGU：高電壓――半導體脈沖發生器單元）模塊可提高閃存測試的吞吐量。  

（WGFMU：波形發生器和快速測量單元）模塊可幫助您執行以前無法進行的關鍵脈沖測量。 

提供各種脈沖解決方案。最新的安捷倫選型指南可幫助您選擇最適合您應用的解決方案。更多信

息，請訪問 安捷倫脈沖 IV 參數測試解決方案頁面。 EasyEXPERT 和 Desktop EasyEXPERT 

不但可以幫助您提高測量效率，而且還可提供易于使用的測試環境。更多信息，請訪問 

EasyEXPERT 頁面。  

安捷倫低泄漏開關矩陣系列能夠靈活地生成自動化測量解決方案，而不會影響測量性能。更多信

息，請訪問 開關矩陣系列頁面。  

特性和優勢  

優異的 IV 測量性能：0.1 fA / 0.5 µV 測量分辨率 

- 測量特性包括單通道和多通道掃描、時間采樣、列表掃描、準靜態 CV（使用 SMU）、直接控制

和針對 HV-SPGU 的任意線性波形生成（ALWG）GUI。  

可選的集成電容模塊支持高達 5 MHz 的 CV 測量  

基于定位器的可選 CV-IV 開關解決方案提供 0.5 µV 的電壓測量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 

fA 的電流測量分辨率能力  

使用內置半自動晶圓探頭驅動程序可輕松自動完成測試；在快速測試模式下，用戶無需編程即可排

列測試順序  

可選的高電壓半導體脈沖發生器單元（HV-SPGU）具有 10 ns 的可編程脈沖寬度和 +/- 40 V

（80 V 峰峰值）輸出  

可選的波形發生器/快速測量單元（WGFMU）提供 ALWG 和快速電流或電壓測量能力  

10 ns 脈沖 IV 解決方案，用于表征高 k 柵極電介質和 SOI（絕緣硅）晶體管  

典型測試模式可提供 4155/4156 界面的外觀、風格和術語，同時通過充分利用 Microsoft ® 

Windows ® GUI 特性可加強用戶交互 

一般特性

基于 PC 的儀器，具有 Windows ® XP Professional 操作系統 

針對電流－電壓（IV）、電容－電壓（CV）、脈沖生成、快速 IV和時域測量的綜合解決方案。 

用于電源監測單元（SMU）和其他模塊類型（MFCMU、HV-SPGU 和 WGFMU）的 10 個模塊插

槽 

通過 Desktop EasyEXPERT 軟件進行離線數據分析和應用測試開發 

測量能力

支持 0.1fA 和 0.5µV 電流－電壓（IV）測量 

支持準靜態和中頻電容－電壓（CV）測量 

支持精確的快速 IV 和時域測量，適用于各種應用，例如脈沖 IV、NBTI 和 RTS 噪聲（RTN）測
量。 

支持用于大功率和存儲器測試的高電壓脈沖生成（高達 ±40 V）功能。